作为样品制备工具，聚焦离子双光束FIB可以准确地产生样品的横截面，否则无法创建：

• ◆ 聚焦离子双光束FIB分析彻底改变了TEM样品的样品制备，使识别亚微米特征和精确制备横截面成为可能。

• ◆ 聚焦离子双光束FIB制备的切片广泛用于SEM显微镜，其中聚焦离子双光束FIB制备，SEM成像和元素分析可以使用相同的多技术工具进行。

• ◆ 聚焦离子双光束FIB制备的切片也用于俄歇电子能谱，以快速准确地提供地下特征的元素鉴定。

• ◆ 它是检测具有小而难以接近特征的产品的理想工具，例如半导体工业中的产品以及亚表面颗粒鉴定。

• ◆ 对于难以横截面的产品来说，这是一个不错的选择，例如难以抛光的软聚合物。

FIB理想用途

• ◆ 扫描电镜、STEM 和透射电镜样品制备

• ◆ 难以接近的小型样品特征的高分辨率横截面图像

• ◆ 通过原位提升进行微量取样

FIB优势强项

• ◆ 横截面小目标的最佳方法

• ◆ 快速、高分辨率成像

• ◆ 良好的颗粒对比度成像

• ◆ 支持许多其他工具的多功能平台

FIB缺点限制

• ◆ 通常需要真空兼容性

• ◆ 成像可能会破坏后续分析

• ◆ 分析面上的残留Ga

• ◆ 离子束损坏可能会限制图像分辨率

• ◆ 截面积小

FIB技术规格

• ◆ 检测到的信号：

• 电子、二次离子、X射线、光（阴极发光）

• ◆ 成像/映射：

• 是

• ◆ 横向分辨率/探头尺寸：

• 7 nm（离子束）;20 nm（电子束）

FIB相关资源

• ◆ 网络研讨会：FIB

• ◆ 应用说明：高级显微镜