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核反应分析（NRA） 用于测量薄膜中的低 Z 元素（例如碳、氮、氧和硼）。在核反应分析NRA分析过程中，初级弹丸与薄膜中的低Z原子核引起核反应，导致具有特定核反应特征的动能的粒子（即特定元素）喷射。很少有实验室可以提供核反应分析NRA商业服务或与中蓉的经验深度和广度，准确的数据和人对人服务相匹配。
产品详情
核反应分析NRA可用于定量测量薄膜中存在的B，C，N，O和Li的总浓度。与RBS相比，使用核反应分析NRA可以以低得多的浓度测量这些元素。通过与RBS结合使用进行核反应分析NRA，可以确定薄膜中轻元素的浓度。
◆ 测量薄膜中低含量的B、C、N、O和Li
◆ 无损成分分析
◆ 定量无标准
◆ 整晶圆分析（最大 300 mm）
◆ 导体和绝缘体分析
◆ 低阻态元件灵敏度
◆ 分析区域大（直径~1-2毫米）
◆ 无深度分辨率
◆ 每个元素都需要一个特定的弹丸，因此可能需要多次测量，具体取决于感兴趣的元素
C， N， O， B， Li
0.5 – 2 at%
没有
不
~1-2 mm
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