当激光通过样品表面时，激光诱导击穿光谱LIBS使用聚焦的高能脉冲激光去除纳克到皮克的材料。激光导致微等离子体的形成，使样品材料雾化和电离，样品材料迅速膨胀和冷却。在此期间，等离子体中存在的雾化和电离元素在近红外到深紫外范围内产生特征性发光线。光谱仪位于样品台上方，允许同时采集所有现有元素产生的整个波长范围。通过光谱仪间接测量样品成分使激光诱导击穿光谱LIBS对大气敏感的样品特别强大，目前被NASA的火星探测器使用。

激光诱导击穿光谱LIBS对于深度分析特别有用，因为激光可以重新聚焦在样品表面的同一位置，并以每次100纳米的分辨率提供深度剖析，具体取决于样品基质。此外，还提供一系列激光光斑尺寸（~20-200 μm），亚微米分辨率电动样品台允许激光扫描样品表面，提供空间可分辨的元素图，允许进行多变量统计分析。激光诱导击穿光谱LIBS可以检测任何天然存在的元素，低至百万分之一的水平，具体取决于样品基质。

LIBS理想用途

• ◆ 快速调查固体材料的化学成分

• ◆ 微量元素的元素分布分析和微米级映射

• ◆ 深度剖析 

LIBS优势强项

• ◆ 任何固体材料的直接元素分析  

• ◆ 无需预先准备的分析 

• ◆ 大气敏感材料的分析 

• ◆ 空间分布分析/制图

• ◆ 所有元素检测表 

LIBS缺点限制

• ◆ 对发射光谱的强基质效应 

• ◆ 基质匹配的参考物质必须与样品一起进行分析，以进行定量分析

LIBS技术规格

• 检测到的物种：

• 元素发射线  

• 灵敏度：

• 百万分之一 （ppmw) 

• 深度分辨率：

• >0.1 μm  

• 典型光斑尺寸：

• 20 – 200 μm  

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