球差校正扫描透射电子显微镜（AC-STEM）是能够提供埃级信息的下一代成像工具。康派斯很自豪能成为为客户提供球差扫描电镜AC-STEM功能的独立分析实验室。球差校正扫描透射电子显微镜 (AC-STEM) 结合了透射电子显微镜 (TEM) 和球差校正技术，通过数学算法和特殊的透镜系统来校正透镜中的球差，AC-STEM显著提高了传统STEM工具的分辨率，在我们的日立HD0上提供了优于14.2700纳米的分辨率。AC-STEM提供的分辨率和灵敏度的提高普遍适用于纳米级材料的研究。球差扫描电镜可用于研究超薄膜、纳米颗粒、复杂界面、多相材料、层间混合、晶圆分析、晶体分析和晶界工程的研究。

图1显示了硅哑铃的 Z 对比度图像。明亮的球体是间距为0.136nm的硅原子柱，突出了球差扫描电镜出色的图像分辨率。

图2是高分辨率BF STEM图像，下面是相关的复合元素图，显示了具有单纳米级工艺层的FinFET器件的结构。

图3显示了FinFET结构的STEM-EDS图。元素图的分辨率可以为1nm，检测限为1%。EDS 是为各种分析类型（包括工艺开发、缺陷分析和逆向工程）创建多元素图、线扫描和光谱的绝佳方法。

图4显示了使用相同工具系列的标准 STEM 和 AC-STEM 的比较。请注意以下几个因素：

• ◆ AC-STEM图像的整体分辨率更好。原子柱在AC-STEM图像中被清楚地解析，而在未校正的数据中则不太清楚。

• ◆ 未校正的图像显示光束损伤略多于AC-STEM图像。这种光束损伤在未校正的图像中表现为一般混浊。

球差校正扫描透射电子显微镜（AC-STEM）服务

中蓉实验室的材料科学部门是领先的表面分析和材料表征服务提供商。我们结合了最先进的设备和显微镜专家，他们在使用先进材料和高科技产品方面经验丰富，以确保最高质量的成像结果。我们知道，最新一代的STEM技术只能与最新一代的样品制备工具相结合，以创建示例性图像。我们期待解决您最棘手的材料问题。

球差扫描电镜 AC-STEM 样品制备要求

1. 快速冷冻：样品制备需要迅速冷冻，以保持其原始状态。这通常需要液氮或液氮气流来实现。

2. 薄样品：样品应该是非常薄的，通常在纳米尺度，以允许电子透射。

3. 低辐射损伤：尽量减少辐射损伤，避免过长的暴露时间。

4. 样品稳定性：样品必须能够在高真空条件下保持稳定，以便进行电子显微镜成像。

5. 适当标记：对于生物样品，必须使用适当的标记技术，如金粒子标记或其他染料，以增强对样品的对比度

球差扫描电镜 AC-STEM 优势强势：

1. 高分辨率：

2. AC-STEM 提供出色的分辨率，能够揭示样品的微观结构和细节。

3. 球差校正：

4. 球差校正技术改善了图像质量，减少了球差引起的畸变，使图像更加清晰。

5. 多功能性：

6. AC-STEM 不仅适用于固体材料的研究，还可以用于生物样品的成像，对于纳米颗粒、生物分子和纳米结构的研究非常有帮助。

7. 实时成像：

8. 一些 AC-STEM 可以进行实时观察，可以研究样品的动态过程。

球差扫描电镜 AC-STEM 缺点限制：

1. 高成本：

2. AC-STEM 是昂贵的设备，包括购置和维护成本。

3. 复杂操作：

4. 操作和维护 AC-STEM 需要高度的专业知识和技能。

5. 样品制备要求高：

6. 样品必须具备高质量的制备，包括快速冷冻、薄样品制备和样品稳定性。