椭圆偏振法主要用于测量薄膜厚度、折射率 （n） 和消光系数 （k），但也可用于研究影响光偏振的其他特性，例如粗糙度、光学各向异性（双折射）、晶体性质、成分、光学带隙和热膨胀。请注意，此技术不直接测量这些参数。为了提取有关薄膜的有用信息，构建了一个描述样品光学参数的模型。然后，拟合未知参数以获得理论响应与实验数据之间的最佳匹配。

SE理想用途

• ◆ 平面基板上有机和无机薄膜的厚度和光学常数

• ◆ 多层样品的单层厚度

SE优势强项

• ◆ 非接触式，非破坏性

• ◆ 不受光源强度不稳定或大气吸收的影响

• ◆ 快

• ◆ 精确的薄膜厚度和光学常数测量

SE缺点限制

• ◆ 不直接测量材料特性;样品的光学模型必须拟合到数据中

• ◆ 需要光学平坦的样品表面

SE技术规格

• 采集数据： 

• 反射和透射椭圆数据，偏振透射和反射强度（波长范围 192–1689 nm）

• 横向信息：

• 200 μm 或 2 mm，具体取决于光斑尺寸。自动样品平移台 （150×150 mm） 可用于映射程序

• 精度（厚度、光学常数）：

•  主要取决于光学模型对真实样品的描述程度。厚度的精度（重复性）可以优于0.1 nm，对于n和k，精度（重复性）可以优于0.001

• 样品类型和要求：

•  具有光学平坦基板的固体、薄层和多层。厚度从亚单层覆盖到μm范围

• 加热实验： 

• 可在不同大气中根据温度（最高 300°C）进行测量

• 光斑尺寸：

•  200 μm 或 2 mm

SE相关资源

• 网络研讨会：椭圆偏振光谱法