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服务项目

半导体元素分析

我们提供半导体材料元素分析测试服务,致力于为客户提供全面、准确的材料分析,以确保半导体产品的质量和性能达到最高标准。我们的专业团队采用多种先进的测试方法,覆盖多个测试项目,以满足不同材料的需求。

服务介绍

样品要求

为确保测试准确性,请客户提供清晰的样品标识,保证样品表面无明显污染。我们接受各种半导体材料样品,包括晶片、薄膜和粉末等。

检测项目与标准

  • 主要半导体元素分析

使用辉光放电质谱GDMS、XRD、XPS等方法,对主要半导体元素进行精确分析,包括硅(Si)、锗(Ge)、砷(As)、磷(P)等。

  • 杂质检测

通过高灵敏度的质谱分析,检测金属和非金属等杂质元素,确保半导体产品的纯度和稳定性。

  • 其他关键元素分析

除主要半导体元素外,我们还将关注其他关键元素,如氮(N)、铝(Al)等,以全面了解材料的组成。

 

检测项目检测标准

金属、合金、石墨、电子材料、氧化物和陶瓷等                    

 硅、锗、砷、磷、碳化硅、 碳化硼、 氧化锌 等半导体材料

铝、钨、钪、钼等金属

元素周期表全元素分析

      

  • 辉光放电质谱(GDMS): 用于高精度材料组成分析,尤其适用于测量低杂质含量,可实现ppm(部分每百万)级的精度。。

  • 电感耦合等离子体质谱(ICP-MS): 高灵敏度的多元素分析方法,可实现ppq(部分每千万亿)级的精度,用于检测金属和非金属等杂质元素。

  • 光电子能谱(XPS): 对表面化学成分进行深入分析,揭示材料的表面性质,可达到亚表面层的精度。

  • X射线衍射(XRD): 通过分析材料的晶体结构,提供对材料性能和稳定性的深入理解。可达到亚纳米级的分辨率。

     

 

元素分析检测技术


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