该附件可用于 RBS 仪器上的重元素识别。由于质量相似，这些重元素在RBS反向散射能量方面可能只有很小的差异，但它们在粒子诱导的X射线发射PIXE光谱中可能具有明显的差异。粒子诱导的X射线发射PIXE作为一种分析技术有几个优点。它是非破坏性的，并提供类似于电子束对应物的信号电平，但它具有更好的信噪比。即使在粒子诱导的X射线发射PIXE能量下，其速度也比电子低得多。与电子诱导光谱相比，另一个优点是，与RBS一样，粒子诱导的X射线发射PIXE适用于绝缘样品。

PIXE理想用途

• ◆ 鉴定/定量仅靠RBS无法解决的较重元素

PIXE优势强项

• ◆ 快速、方便、与卢瑟福背散射光谱法相辅相成的技术

• ◆ 提供与电子束诱导对应物相似的信号电平，但具有更好的信噪比

PIXE缺点限制

• ◆ 大分析区域（~1-2 mm）

• ◆ 有用信息仅限于顶部 ~1 μm 样品

PIXE技术规格

• 检测到的信号：

•  反向散射氦原子

• 检测到的元素：

• 铝 – U

• 检测限：

• 0.1-10 at%

• 深度分辨率：

• 没有

• 成像/映射：

• 不

• 横向分辨率/探头尺寸：

• ~1-2 mm