EBSD理想用途

• ◆ 具有空间坐标的微观结构可视化

• ◆ 在精确位置（例如焊缝附近或半导体焊盘上）表征纹理

• ◆ 表征晶粒尺寸和纹理，因为它与钢板和铝的精加工质量有关

• ◆ 测量大颗粒，无与LM相关的误差

• ◆ 表征特殊晶界，例如CSL和孪晶

• ◆ 测量晶粒取向错误

• ◆ 通过检查晶内取向错误和晶粒长宽比来表征变形

• ◆ 外延生长薄膜的表征

• ◆ 通过检查横截面来表征深度纹理

生物多样性和生物伦理署示例

EBSD – 电子背散射衍射是一种使用 SEM 的电子束来区分样品表面上晶粒的晶体取向的技术。从EBSD我们获得：

• ◆ 晶粒取向

• ◆ 粒度

• ◆ 晶粒之间的定向错误

• ◆ 极点数字和地图

电子通道模式菊池地图

反极图图

晶界图

粒度分布

极点图

EBSD优势强项

• ◆ 准确提供从几 10 纳米到几 10 毫米的空间分辨晶粒尺寸和相位信息。

• ◆ 提供来自局部区域的纹理信息。

• ◆ 提供晶界角信息。

• ◆ 可用于故障分析。

EBSD缺点限制

• ◆ 相位信息需要先验地知道。

• ◆ 不能分析非晶材料。

• ◆ 无法区分相似晶体结构的相（需要使用EDS-EBSD技术）。

• ◆ 需要高质量的抛光表面。

EBSD技术规格

• 检测到的信号：

• 衍射电子

• 检测到的元素：

• 所有元素，假设它们存在于晶体基质中

• 检测限：

• 晶粒尺寸 >80 nm

• 定量分析：

• 晶粒尺寸和相关测量：~10%

EBSD相关资源

• 网络研讨会：EBSD