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成像学

扫描声学显微镜(SAM)

扫描声学显微镜(SAM)使用声波来检测和识别设备、组件和材料中的内部分层、空隙、材料密度变化、缺陷和许多其他异常。扫描声学显微镜SAM对分层和材料密度变化的存在高度敏感,使用X射线照相,红外成像和其他非破坏性技术很难检测到这些变化。它可以检测亚微米气隙,缺陷分辨率为~5μm。

产品详情

SAM理想用途

  • ◆ 界面分层

  • ◆ 接头、粘接和密封分析

  • ◆ 空隙检测

  • ◆ 裂纹检测 – 晶圆、芯片和封装级别

  • ◆ 印刷电路板异常

  • ◆ 薄膜、钎焊、焊接和其他界面的成像附着力

SAM优势强项

  • ◆ 无损检测

  • ◆ 亚微米分层检测能力 (<0.2 μm)

  • ◆ 广泛的低到超高探头频率和焦距范围,可为各种材料和样品提供最佳的穿透力和分辨率成像

SAM缺点限制

  • ◆ 浸没在去离子水中的样品

  • ◆ 高、非常大或不规则形状的样品。平面结构样品效果最好

  • ◆ 减少多层/界面的成像,特别是由于非平面界面、特征和粗糙度(例如倾斜的刻面)而导致的柔软或多孔材料和声音散射

SAM技术规格

  • ◆ A、B 和 C 模式扫描

  • ◆ SALI(扫描声层成像)

  • ◆ 脉冲回波/反射和直通传输

  • ◆ 支持行业规范和标准

    • IPC / JEDEC,J-STD-020,J-STD-035

    • Mil-STD 883,方法2030,方法2035

    • NASA,PEM-INST-001

SAM主要应用

  • ◆ 失效分析

  • ◆ 产品可靠性

  • ◆ IPC / JEDEC J-STD-020(MSL分类需要)

    • Mil-STD 883,方法 2030,方法 2035

    • NASA,PEM-INST-001

  • ◆ 芯片级封装 (CSP) 检测

  • ◆ 堆叠芯片成像

  • ◆ 塑料封装 IC 检测

  • ◆ 工艺验证

  • ◆ 供应商资格

  • ◆ 产品检验

  • ◆ 质量管理

  • ◆ 研究与开发

  • ◆ 假冒检测

扫描声学显微镜,图1

FLip 芯片凸块分层


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