内部气体成分分析

为了消除由化学反应（腐蚀）引起的微电子元件故障，必须知道元件的内部气体成分。MIL-STD-883、MIL-STD 750、方法1018被认为是内部水蒸气含量的最佳规格，也称为残余气体分析（RGA）。

残余气体分析RGA测试方法定义了RGA设备校准和设备测试的程序，以及内部水蒸气含量的最大可接受限值。该测试不仅使产品能够提供给DLA用于关键任务计划，而且还在产品不符合要求标准时提供重要信息。中蓉实验室作为权威实验室拥有多年的经验。

高可靠性电子元件通常需要长时间运行，几乎没有更换机会。轨道卫星就是这种情况的好例子。满足“空间使用”要求的零件也用于难以更换和/或故障产生巨大风险的应用。如植入式电子医疗设备（心脏起搏器）。

中蓉是目前适用于测试方法1018的内部水蒸气含量测试的两种商业测试服务之一。测试方法1018的适用性是测试可靠性和准确性的黄金标准，它来自美国。

中蓉提供的其他MIL-STD-883测试：

• ◆ 破坏性物理分析

• ◆ 失效分析

• ◆ 细泄漏/严重泄漏

• ◆ 模具剪切

• ◆ 放射线照相术

• ◆ 扫描电镜检查

• ◆ P.I.N.D. 测试

• ◆ 粘结拉力强度测试

RGA理想用途

• ◆ 包装外壳：可以分析DIP，四包，TO-x罐，金属盖设备，电子医疗设备，气体采样钢瓶，过程监控包，填充气体容器和许多其他密封设备。

RGA优势强项

• ◆ 分子量在 1-140 质量单位之间的所有气体都可以通过测量扫描进行识别，或者可以预先选择多达 16 种组分进行定量分析

RGA缺点限制

• ◆ 包装必须密封，空腔尺寸不小于 0.01 cc

RGA技术规格

• 体积：可以分析 0.01 cc 至 20 cc 体积。

• 分析： 分子量在 1-140 质量单位之间的所有气体都可以通过测量扫描进行识别，或者可以预先选择多达 16 种组分进行定量分析

• MIL-STD-883/750 测试：测量和报告氮气、氧气、氩气、二氧化碳、水分、氢气、氦气、碳氟化合物、甲烷和氨

RGA相关资源

• 网络研讨会：气体分析和泄漏测试