原位X 射线光电子能谱技术作为一种高灵敏超微量的表面分析技术，对所有元素的灵敏度具有相同的数量级，能够观测化学位移，能够对固体样品的元素成分进行定性、定量或半定量及价态分析，广泛地应用于元素分析、多相研究、化合物结构分析、元素价态分析。此外在对氧化、腐蚀、催化等微观机理研究，污染化学、尘埃粒子研究，界面及过渡层研究等方面均有所应用。

服务能力：材料表面元素分析、深度剖析、微区分析、角分辨、高低温XPS、原位+紫外辐照XPS分析

服务特色：

1. 可测样品最大高度20mm左右，包括各种异形件，如球，刀片，头发丝极的细丝，圈等各种零件和试件。

2. 可进行微区测试，光斑最小直径7.5um，采谱面积10um至1300um，微区分析（空间分辨率优于10um，用同源X射线激发的SXI二次电子成像，保证图谱与所需测试区域的一致。

3. 可进行原位变温测试：温度范围：-150℃-800℃。

4. 可进行原位价带谱测试（波长范围：10-400，氘灯氙灯都有）。

5. 表面清洁：GCIB团簇离子枪，通过绝热膨胀和离化，使2000个Ar离子带一个电荷，在不破坏无机物的化学态条件下，实现对有机物的清洗和溅射功能。

6. 深度剖析：配有Ar离子枪，可进行溅射和深度剖析。刻蚀深度可达um级。