当能量色散X射线光谱EDS与这些成像工具结合使用时，可以从直径小至1纳米（STEM）的区域提供空间分辨的元素分析。在SEM中，分析体积较大，体积范围可能为0.1至3微米。电子束对样品的影响会产生X射线，这是样品上存在的元素的特征。能量色散X射线光谱EDS分析可用于确定单个点的元素组成，线扫描或绘制成像区域中元素的横向分布。

EDS理想用途

• ◆ 使用 SEM/TEM 成像的小区域的元素组成

• ◆ 缺陷识别/映射

EDS优势强项

• ◆ 快速“初探”成分分析

• ◆ 功能多样、价格低廉且广泛可用

• ◆ 某些样品的定量（平整、抛光、均质）

EDS缺点限制

• ◆ 通常，可以进行半定量分析

• ◆ 样品量必须与 SEM/TEM 兼容

• ◆ 样品必须与真空兼容（不适用于湿有机材料）

• ◆ 分析（和涂层）可能会限制后续的表面分析

• ◆ 许多元素峰重叠是可能的，需要仔细检查光谱

EDS技术规格

• 检测到的信号：

• 特征性 X 射线

• 检测到的元素：

• B-U

• 检测限：

• 0.1-1 at%

• 扫描电镜采样深度：

• 0.1-3 μm

• STEM采样深度：

• ~0.1微米（箔片厚度）

• 成像/映射和线扫描：

• 是的

• 横向分辨率：

• STEM-EDS 为 1-2 nm，SEM EDS 为 ≥0.1 μm

EDS相关资源

• 网络研讨会：EDS 和 EELS

• 应用说明：高级显微镜

• 应用资料：通过 AC-STEM-EDS 定量超薄层