XRF是智能图表并测量散装材料和薄膜的成分和杂质。

有五种XRF系统可供选择：四波长色散仪（WDXRF）和能量色散仪（EDXRF），主要区别在于X射线的分离和测量方式。WDXRF具有非常好的能量分辨率，可以减少光谱重叠并改善背景强度。EDXRF具有更高的信号吞吐量，可实现小区域分析或映射。

XRF理想用途

• ◆ 首先，测量从埃级到几微米的薄膜厚度和成分

• ◆ 其次，用于大多数材料（包括玻璃、金属、陶瓷、聚合物或残留物）的一般元素鉴定和定量

• ◆ 第三，用于识别特定的金属合金或类型的玻璃

• ◆ 第四，用于固体或液体样品中污染物的痕量分析

• ◆ 第五，在鉴定和定量聚合物中的无机填料时

• ◆ 此外，用于大型溅射靶材的无损分析

• ◆ 最后，用于对直径达 300 mm 的晶圆上的薄膜进行无损分析

XRF优势强项

• ◆ 非破坏性

    ◆ 整个晶圆分析（最大 300 mm）以及晶圆片和小样品

    ◆ 超大样品的 EDXRF 分析：15x15x10 厘米（长 x 宽 x 高）

    ◆ 超大样品的WDXRF分析：直径400 mm，厚度50 mm，质量30 kg

• ◆ 多层膜堆的厚度和组成

• ◆ 可分析小至 ~30 μm （EDXRF） 或 500 μm （WDXRF） 的区域

• ◆ 可以分析任何固体材料和一些液体

• ◆ 采样深度从小于一纳米到几毫米不等，具体取决于材料

XRF缺点限制

• ◆ 首先，它不能使用EDXRF检测比Na轻的元素

• ◆ 其次，它不能使用WDXRF检测比B轻的元素（可以检测到Be，但只能在铜中检测到）

• ◆ 第三，最高精度的测量需要与测试样品在成分和/或厚度上相似的参考标准

XRF技术规格

• 检测到的信号：X射线

• 检测到的元素：B-U （WDXRF）;Na-U （EDXRF）

• 检测限：1 ppm – 100 ppm，适用于大多数元素

• 成像/映射：是（最大 6×10 厘米区域）

• 横向分辨率/探头尺寸：500 μm、1 mm、6 mm、10 mm、20 mm、26 mm、30 mm 或 37 mm （WDXRF）;30 微米、1 毫米、2 毫米 （EDXRF）