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电子能量损失谱（EELS）是一种与透射电子显微镜（TEM）和扫描透射电子显微镜（STEM）结合使用时提供纳米尺度元素信息的技术。入射电子的能量在通过样品时会改变（减少）。这种能量损失可以使用EELS来表征，以提供元素识别。与能量色散X射线光谱（EDS）相比，电子能量损失谱EELS提供了改进的信噪比，更好的空间分辨率（低至1 nm），更高的能量分辨率（EELS为<1 eV）和更高的对较低原子序数元素的灵敏度。对于某些元素，可以获得化学键信息。
产品详情
◆ 元素识别和映射
◆ 元素鉴定（斑点分析、线扫描、二维化学图）
◆ 化学指纹识别（有限情况）
◆ 比 EDS 更多的信号采集
◆ 在硅/碳/氧化/氮系统中特别有用
◆ 1 nm 探头尺寸 （EDS ~1-3 nm）
◆ 更高的能量分辨率，有时可以提供化学信息
◆ 对低Z元素的灵敏度更高
◆ 设置时间更长
◆ 多元素检测有时需要多次设置
◆ 背景和峰形很复杂
◆ 对高 Z 元素的良好检测可能存在问题
B-U
0.5%
1 nm
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