傅里叶变换红外光谱(FTIR)是一种有效的分析技术,用于快速识别物质的“化学家族”。 通常,有机和聚合物化合物(以及在较小程度上的无机化合物)产生“指纹”红外光谱,可以与康派斯广泛的参考数据库进行比较,并且可以确定未知成分的化学家族或实际身份。
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傅里叶变换红外光谱FTIR测量样品对红外光的吸光度,并根据材料中的官能团生成光谱。除了典型的样品制备方法(例如微萃取,稀释,KBr沉淀和搅拌技术)外,中蓉还利用各种衰减全反射(ATR)附件,可以直接检查不溶性或多层样品。
◆ 首先,表征和识别复杂的材料混合物,包括气体、液体和固体
◆ 其次,在宏观和微观尺度上识别有机污染物(例如颗粒、残留物)
◆ 最后,O的定量我在硅晶圆中,在SiN、SiON和a-Si薄膜中H(Si-H与N-H)
◆ 能够识别有机官能团和特定的有机化合物
◆ 用于化合物和混合物鉴定的广泛光谱库
◆ 环境条件(不需要真空;适用于半挥发性化合物)
◆ 最小(检测限)分析区域:~15-50μm。 经验法则:如果可以用肉眼看到样品,则很可能可以对其进行分析。
◆ 可使用适当的标准品和均匀的样品厚度进行定量
◆ 与拉曼光谱相辅相成
◆ 首先,有限的表面灵敏度(典型的检测限是100nm的薄膜厚度)
◆ 只有特定的无机物种表现出FTIR光谱(例如:是:硅酸盐,碳酸盐,硝酸盐和硫酸盐;否:提提尼亚、氧化物等)
◆ 样品定量需要使用标准品
◆ 玻璃吸收红外光,不适合进行FTIR分析
◆ 水还会强烈吸收红外光,并可能干扰溶解、悬浮或潮湿样品的分析
◆ 简单的阳离子和阴离子,例如钠和氯+–,不吸收傅里叶变换红外光谱,因此无法被傅里叶变换红外光谱仪检测到。混合物/多种样品成分的鉴定可能需要额外的实验室准备和分析。
◆ 最后,FTIR无法分析反射光的金属
红外吸收
分子官能团(非元素)
1-10重量%(已知成分的定量);5-20 % (识别未知成分)
~0.1-1 微米
红外光穿过整个样品
没有 FTIR 映射
> 15-50 μm
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